华南理工大学招标中心受华南理工大学委托，就华南理工大学镀膜仪购置招标项目接受合格的国内投标人提交密封投标。有关事项如下：
一、招标项目
1、项目名称：华南理工大学镀膜仪购置，招标编号：SCUT[2014]WZ207
2、数量：以招标文件为准
3、具体内容(仅供参考，具体以购买的招标文件书面版本为准)：
（一）、设备名称： 镀膜机 数量： 1套
（二）、功能及用途：
样品在进行扫描电镜观察前，通常需要对其表面镀一层金属膜，以便减少观察时产生的荷电，并增强二次电子或背散射电子信号，获得更好的信噪比。镀膜机可用于SEM样品表面处理，提高样品表面形貌的分辨率。
（三）、设备明细（如为配件，需在备注中说明）
序号
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设备及主要配 件名称
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技术性能指标和配置
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数量
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备注
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1
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镀膜仪
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1. 真空系统
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1.1 油封旋片式机械真空泵：5mm3/h，金属连接管，带有油雾过滤器；
* 1.2 极限真空度：≤7×10-3mbar（连续抽真空12h）；
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1.3 抽真空时间：约2分钟抽至2×10-2mbar；
1.4 真空计：Pirani真空计；
1.5真空泵连接管规格：ISO KF25；
1.6泵保险丝：自动6A
2. 镀膜方式
* 2.1离子溅射法。
3. 离子溅射法
3.1溅射电流：最大150mA，可调。
3.2溅射时间：1～999s可调。
* 3.3镀膜厚度：1～100nm可调，自动终止 ；
3.4靶材直径：54mm，厚度最大1mm
；
3.5溅射用工作气体：氩气，纯度99.99%，减压阀输入压力：0.5bar；
3.6氩气接口：6mm（G1/8”）快插接口，使用聚酰胺软管连接；
3.7氩气消耗：约18sccm ；
▲
3.8内置挡板，自动开启与关闭，用于预溅射是防止污染
4. 样品仓与样品台
4.1方形金属样品仓；
4.2玻璃单舱门，超大面积观察窗；
4.3样品仓内壁可拆卸；
4.4样品仓尺寸：宽140mm×深145mm×高150mm；
4.5样品台直径：80mm，带18孔，可插入18个SEM标准样品台；
4.6工作距离调节范围：30～100mm
5. QSG石英膜厚检测器
* 5.1检测精度：0.1nm
；
5.2可设置镀膜厚度范围：0～100nm ；
6. 操作控制
6.1内置式彩色触摸屏控制；
6.2全自动，设定参数后，仪器自动抽真空，切换挡板，镀膜至指定厚度或时长，自动终止、放气。
7. 电气参数及环境要求
7.1电压：220V（-10%/+15%），50/60Hz
；
7.2功率：1000W ；
7.3保险丝：10A
；
7.4 USB接口：U盘容量≤2GB ；
7.5工作温度：15～30℃
；
7.6存储温度：5～40℃
；
7.7环境湿度：≤80%
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1套
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2
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油雾滤片
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OEM 25S
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1件
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配件
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3
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真空连接管路
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1m
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1件
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配件
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4
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铂靶材
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54mm，99.99%，21.5g/cm3，0.17mm
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1件
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配件
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5
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金靶材
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54mm，99.99%，19.3g/cm3，0.17mm
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1件
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配件
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（四）、工作条件：环境温度： 15～30℃
相对湿度：≤80% (无冷凝)
电源规格：100/115/230V（-10%/+15%），50/60Hz，
二、供应商资格要求
1、投标人须符合《政府采购法》第二十二条的相关规定，已报名并获取本项目招标文件的在中华人民共和国注册的法人；
2、投标人必须是具有本次招标采购设备的生产或销售权的制造商或经销商，同时具有完成本招标合同并能为本招标采购的设备提供长期售后服务和备品备件的能力
3、投标人非制造商的，必须获得相应制造商、有效资质的总代理商的经销或授权证书。
4、投标人应具备良好的商业信誉和健全的财务会计制度，有依法纳税的良好记录，在近三年经营活动中没有重大违法记录。
5、本项目不接受任何联合体投标。
三、获取招标文件的时间、地点、方式及招标文件售价
1、获取招标文件时间：2014年7月30日～2014年9月1日（节假日除外），15:00～17:00(北京时间)，上午时间不售卖
2、获取招标文件地点：广州市天河区华南理工大学南秀村物资大楼二楼招标中心
3、获取招标文件方式：购买。
请投标人代表携带投标人营业执照复印件、购买招标文件人身份证复印件、法人授权书和招标文件发售登记表购买招标文件（法人授权书模板和招标文件发售登记表的下载地址：/zhaobiao/upload/1.doc，以上资料均需加盖公章及法人代表印章或签名），如是外地的供应商（广州市区除外）则需扫描以上资料（还需包括购买招标文件的汇款单、投标人名称、邮寄地址、邮政编码、联系人、联系电话等信息）发送至招标中心邮箱（zbshb@scut.edu.cn，不接受传真件）。国内邮购招标文件者应加50元人民币作特快专递费，招标中心将用航空快递及时寄去招标文件，但在任何情况下招标机构对邮寄过程中发生的迟交或遗失都不承担责任。
4、招标文件售价：人民币 150 元/套（售后不退）
5、收款人：广东华工工程建设监理有限公司
开户行：中国工商银行广州五山支行
账 号：3602002609000735315
四、投标截止时间、开标时间及地点
1、递交投标文件时间：2014年9月2日8:30～9:00 (北京时间)
2、投标截止时间：2014年9月2日9:00时(北京时间)
3、开标时间：2014年9月2日9:00时(北京时间)
4、开标地点：华南理工大学南秀村物资大楼二楼华工招标中心
五、招标机构：
华南理工大学招标中心
联系电话：020-22236966（杨老师） 传真：020-22236966 邮编：510640
Email：zbshb@scut.edu.cn
华南理工大学招标中心
二○一四年七月三十日
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