标题：扫描探针显微镜等招标（浙江大学）

浙江大学采购中心对《 扫描探针显微镜、快速热处理系统 》 项目进行竞争性谈判采购，欢迎国内有能力的供应商参加谈判。

1 、采购项目：扫描探针显微镜、快速热处理系统 。

2 、采购编号：ZUPC-JZ-1204009 。

标项一：扫描探针显微镜 一台

主要技术要求：

1） 系统噪音水平：高度方向小于0.05nm， 水平方向小于0.2nm

2） 扫描器:扫描器:XY不小于 90m , Z不小于10um

3） 探针扫描大范围扫描装置一套（实现自动控制）

4） 系统可实现LiftMode的控制，暗抬高模式（对于表面电学特征的表征）测试I/V曲线或表面电场过程中可关闭激光信号，避免光电流的干扰

5） 样品台： 150mm 移动范围全自动样品台(真空吸附样品台)，可程序化控制，移动范围 150mm ,可自动测试6inch每个位置，不用手动调节

6） 八通道实时采集数据

7） 5 百万像素数字摄像头,观察范围：180μm ~1465μm,自动缩放及聚焦,光学分辨率优于1.5um

8） 防震：提供防震装置（需要防止低频共振），可实现AFM云母或石墨原子台阶测试要求。

9） 控制器PC（ 采用Windows XP系统的主机）

10 ）高度参考测试系统：Z方向可校准大约100um高度，提供一套标准样品，一套标准探针，通过闭环测试系统，标定高度。

标项二：快速热处理系统 一套

主要技术要求：

1. 温度范围：30 ℃ ～ 1250 ℃ ；

2. 升温速度：10～80 ℃ /sec( 可编程)；

3. 降温速度：10～125 ℃ /sec （可编程）；

4. 温度控制重复性： ± 1 ℃ ；

5. 温度控制精确度： ± 1 ℃ ；

6. 1250 ℃ steady 阶段时长：最长5min；

7. 退火样片尺寸：2～6英寸(按客户选配)；

8. 温度测量方式：小于 600 ℃ 用热电偶测量，大于 600 ℃ 用高温计测量；

9. 加热方式：上、下两排碘钨灯加热；

10. 冷却方式：水冷加风冷；

11. 工艺程序可编程：图形界面简洁、直观、操作方便；

12. 温度控制模式：奔腾PC微机控制，优于PID，新型；

13. 数据存取：工艺数据存于硬盘；

14. 工艺气体：1路(10slpm N2,MFC控制)；

15. 状态检测：软件实时检测；

16. 校准功能：软件校准高温计，数据点达500个，操作简单精度高；

17. 退火炉功能：欧姆接触、合金、注入激活、形成硅化物、生长氧化层；

18. 工作环境：温度15 ℃ ～ 25 ℃ ，相对湿度30％RH～70％RH；

19. 系统软件：AW全新控制软件；

20. 控制器：奔腾PC工控主机；

21. 故障分析：显示所有输入/输出(I/O)部件状态，方便设备故障检修；

22. A/D 、D/A精度：16位A/D、14位D/A；

3 、参加谈判厂（商）家的资格要求：（1）国内具有独立法人资格；（2）有相当的技术力量和经济实力；（3）售后服务能力强；（4）社会信誉好；（5）注册资金50万元人民币（含）以上的供应商均可参加。

4 、购买采购文件时间： 2012 年4 月19 日 至 2012 年4 月25 日 （上午9：00—11：00；下午13：30—16：30双休日及法定节假日除外）。

5 、谈判文件的购买

（1）采购文件价格每本500 元（售后不退），凭单位营业执照副本复印件（加盖公章）购买。

（2）购买地点：浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四139室）

（3）联系人： 陈 老师

（4）联系电话：0571-88981325；传真：0571-88981382。

6 、谈判响应文件递交截止时间： 2012年4 月26 日 上午9时。

7 、参加谈判的供应商在 2012年4 月26 日 上午9时前应将贰万元保证金交至浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四139室），如保证金为汇票、转账等形式请出示银行的单据。

8 、 自成交公告发出五个工作日后，请未成交单位开具收款收据（有财政或税务机关监制章）到浙江大学采购中心办理谈判响应保证金的退还手续。

9 、 谈判时间： 2012年4 月26 日 上午9时，地点：浙江大学紫金港校区东四156室。

10 、质疑和投诉：谈判响应方如认为采购文件使自身的合法权益受到损害的，应于自发布公告之日起七个工作日内以书面形式向采购机构提出质疑；谈判响应方如认为采购过程和成交结果使自身的合法权益受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，以书面形式向采购机构提出质疑；谈判响应方对采购机构的质疑答复不满意或者采购机构未在规定时间内做出答复的，可以在答复期满后十五个工作日内向浙江大学采购管理办公室( 0571-88981171) 投诉。

11 、 通讯地址： 杭州市西湖区余杭塘路866号 ；邮编： 310058; Email:zupc@zju.edu.cn