标题：台阶仪 表面轮廓仪

铂悦仪器专业提供 台阶仪 探针式表面轮廓仪

VEECO Dektak 150

规格：测试技术：探针轮廓技术 测试功能：二维表面轮廓测试 样品视场：640*480像素，探针传感器：低惯量传感器（LIS 3）探针压力：使用LIS 3传感器：1至15 mg 使用N-lite传感器：0.03至15 mg

样品载物台：手动X/Y/@：100*100 mm, 360度旋转，可手动校平；可选Y自动移动载物台，100 mm行程，1um重现性，0.5 um分辨率；可选X-Y自动移动载物台，150 mm行程   1um重现率，0.5 um 分辨率 软件：Dektak软件 台阶检测软件  可选应力测量软件 可选三维Vision分析软件 可选缝合软件 减震装置：可选桌式震动隔离装置 可选台式震动隔离装置 性能 扫描长度范围 55mm(2.1英寸) 每次扫描数据点 最多12万数据点 最大样品厚度 高达90 mm (4英寸)，取决于配置 最大晶圆尺寸 150 mm(6英寸)

台阶高度重现性 6埃 垂直范围：标准524um(0.02英寸)；可选1mm 垂直分辨率：最大1A（6.55um垂直范围下）

可以联系铂悦仪器专业台阶仪技术工程师询问相关配置联系：钱先生：13918209012