产品配置  

整机采用不锈钢304制作，关键元器件采用施耐德，欧姆龙等品牌；

电 源：220V，1.5A，300W ；

灯管：特殊格册状灯管（进口石英材料），200W，寿命5000小时；

主要工作光谱：185nm+254nm ；

有效清洗面积：6、8、10、12、16英寸（可选择其中一种） ；

清洗时间控制器：0-99.99小时或分钟；

寿命计时器：计算灯管使用寿命；

照射高度： 20-100mm，可通过托盘四边螺母调节高度；

灯管预热：具灯管预热提示功能，使清洗数据更精准；

加热（选配）：可选择加配外置加热平台，温度范围：常温-450摄氏度；

排风功能：内置臭氧排风系统，可分档调节风速，8cm直径出风口，配置风管及密封圈；                                         

应用领域  

■在进行薄膜沉积之前先进行基片清洗。清除浮渣和稳定化处理光刻胶。超高真空度密封。

■清洗硅芯片，透镜，反光镜，太阳能面板，冷轧钢，惯性引导零件和 GaAs芯片

■清洁焊剂，混合电路以及平板LCD显示器

■蚀刻特氟隆，氟橡胶以及其它有机材料

■增强GaAs 和Si氧化物钝化表面

■增强玻璃的除气作用

■基片蓝膜去除

■增强塑料表面的镀膜的粘附性

■基片终测后墨迹清楚

■去除光刻胶

■平板显示器/液晶显示器

■去除光刻机台上的光刻胶残留物

■在电路板封装和打片之前清洗）

■光纤

■增强表面亲水特性

■为生物科学应用做清洗和消毒

■光学透镜

■其它应用

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