1.17 高稳定宽量程电流传感器

研究目标：开发高稳定宽量程电流传感器，突破大电流高精度检测关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品。实现在核磁共振成像仪、电流标准装置、高精度电能计量装置等仪器中的应用。

考核指标：电流测量范围0~10000A；100mA量程指标为带宽DC~800kHz，电流分辨率≤1μAT，线性度≤100ppm，温度系数≤50ppm/K，准确度≤200ppm；600A量程指标为带宽DC~800kHz，电流分辨率≤10μAT，线性度≤1ppm，温度系数≤0.1ppm/K，准确度≤1ppm；10000A量程指标为带宽DC~500kHz，电流分辨率≤50μAT，线性度≤1ppm，温度系数≤0.1ppm/K，准确度≤2ppm。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥10000小时；技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。

1.18 微型电场传感器

研究目标：开发高性能微型电场传感器，突破工艺一致性和温度漂移抑制等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在探空仪、静电监测与安全防护系统、雷电预警系统等仪器中的应用。

考核指标：测量范围±120kV/m；分辨力≤0.05kV/m；准确度≤5%；功耗≤600mW；封装体积≤ϕ50mm×80mm；实现直流、交流电场测量。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥5000小时；技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。

1.19 高速高精度二维扫描微镜

研究目标：开发高速高精度二维扫描微镜，突破低应力薄膜加工、片上角度检测等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在共聚焦显微镜、3D激光扫描仪、微型激光雷达等仪器中的应用。

考核指标：工作波段800~2500nm；微镜可以绕快轴和慢轴进行二维扫描振动；绕快轴扫描角度≥40（，扫描谐振频率≥25kHz；绕慢轴扫描角度≥60（，扫描谐振频率≥600Hz，指向性扫描时光线扫描角度≥30（，指向性偏转步进精度≤2μrad；抗冲击≥1200g；具有对转角的实时检测功能。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥10000小时；技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。

1.20 紫外凸面光栅

研究目标：开发紫外波段闪耀凸面光栅，突破光栅槽形精密刻划关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在紫外超光谱成像仪、紫外多光谱成像仪等仪器中的应用。

考核指标：工作波长范围250~400nm；凸面光栅最大口径≥55mm；线密度范围500~700线/mm；曲率半径≤150mm；光栅衍射效率≥60%。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥5000小时；技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。

1.21 宽谱段高分辨中阶梯光栅单色器

研究目标：开发宽谱段高分辨中阶梯光栅单色器，突破二维色散自动定位校正关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权，质量稳定可靠的产品，实现在等离子体发射光谱仪、原子吸收光谱仪、拉曼光谱仪、原子荧光光谱仪等仪器上的应用。

考核指标：波长范围160~1000nm；波长误差≤±0.03nm；波长重复性≤0.005nm；最小光谱带宽≤0.009nm@257.610nm。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥5000小时；技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。

1.22 微型集成扫描光栅微镜

研究目标：开发微型集成扫描光栅微镜，突破微型扫描光栅设计制造、光学准直与集成等关键技术，开展工程化开发、应用示范与产业化推广，形成具有完全自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在近红外光谱仪、荧光光谱仪、共聚焦显微镜等仪器中的应用。

考核指标：波长范围800~2500nm；镜面面积≥6mm×6mm；衍射效率≥40%；最高扫描频率≥700Hz；扫描维度1维；最大扫描角度≥±7°；扫描精度0.1度；驱动电压≤1.5V。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥10000小时；技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。

1.23 精密微量注射泵

研究目标：开发精密微量注射泵，突破高精度位移及温度控制等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在流动注射分析仪、液相色谱仪、质谱仪、电位滴定仪、固相萃取仪等仪器中的应用。

考核指标：流量范围20~5mL/s；准确度≤0.3%；重复精度≤0.2%；最小加液体积≤5nL；加液管容积10~100mL；满足定时加液、定量加液、变流量加液、超微量加液等多种加液需求，满足强酸强碱及多种有机溶剂的使用要求。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥10000小时；技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。

1.24 快速反应分析转化器

研究目标：开发快速反应分析转化器，突破秒级反应原位驱动与快速捕捉等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现与质谱检测器、红外检测器、热导检测器等的联用。

考核指标：最高加热温度≥1400℃；温度控制精度≤0.3%；最高反应压力≥5MPa；在线热启动时间≤0.5s；适用的最快反应时间≤1s。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥10000小时；技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。

1.25 长行程精密运动平台

研究目标：开发长行程精密运动平台，突破高精度复合直线运动机构和超快直线驱动等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在高通量基因测序仪、超分辨显微成像仪、工业快速检测仪等仪器中的应用。

考核指标：X-Y行程≥150mm；移动速度≥1m/s；Z向跳动幅度≤±0.4μm；闭环分辨率≤5nm；Z向行程≥20mm；移动速度≥1m/s；X-Y向跳动幅度≤±0.2μm；闭环分辨率≤5nm；非线性度≤0.03%；最大负载能力≥10kg。产品完成时应通过可靠性测试，平均故障间隔时间≥5000小时；技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。

1.26 宽频带同轴步进衰减器

研究目标：开发宽频带同轴步进衰减器，突破弹性件热处理与表面处理工艺、精密微组装、电磁控制等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在矢量网络分析仪、信号源、频谱分析仪等仪器中的应用。

考核指标：频率范围DC~26.5GHz时，最大衰减量90dB，步进量10dB，驻波比≤1.5，插入损耗≤1.8dB。产品完成时应通过可靠性测试，寿命≥500万次，技术就绪度达到9级。频率范围DC~50GHz时，最大衰减量60dB，步进量10dB，驻波比≤1.6，插入损耗≤2.5dB。产品完成时应通过可靠性测试，寿命≥200万次，技术就绪度达到9级。频率范围DC~67GHz时，最大衰减量50dB，步进量10dB，驻波比≤1.7，插入损耗≤3.0dB。产品完成时应通过可靠性测试，寿命≥100万次，技术就绪度达到9级。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。